第 5 课：自动化工厂逻辑（MES→EAP→Equipment）

第 5 课自动化工厂逻辑MES→EAP→Equipment一、本课学习目标搞懂 FAB 里 “谁指挥谁”MES、EAP、机台三者怎么配合理解一条 Lot 从下达任务到加工完成的完整自动化流程明白 EAP 为什么是必须存在而不是可有可无二、三大角色一句话定位MES工厂大脑管 “生产任务”EAP桥梁翻译官管 “机台沟通与执行”Equipment手脚管 “真正加工晶圆”整体数据流MES 下发任务 → EAP 翻译并控制 → 机台执行机台返回结果 → EAP 上传 → MES 记录三、MES 负责什么EAP 必须清楚的边界管理 Lot/Wafer 信息批号、片数、产品型号下发 生产工单这台机该跑哪个产品、哪个步骤管理 Route 工艺路径先去哪道工序再去哪道工序记录 生产履历谁加工的、什么时候开始结束管控 WIP 在制品防止乱跑、重跑、漏跑MES 不直接控制机台动作只负责 “派活”。四、EAP 在中间做什么核心逻辑指令解析与校验接收 MES 指令Lot 号、Recipe 名、Port 号、加工数量做防呆检查机台当前状态是否允许跑货Recipe 是否存在、版本是否匹配Port 是否有 FOUP、是否就绪控制机台执行下发 Recipe 到机台发送启动加工命令监控进片 → 工艺 → 出片全过程事件与报警收集机台开始跑货 → EAP 通知 MES机台报警 → EAP 上传报警并通知 MES 暂停任务机台完成 → EAP 上报完成允许搬送系统运走数据上传加工参数、温度、压力、腔室状态、计数传给 MES / FDC / Database 做监控和追溯五、Equipment 机台负责什么执行物理动作进片、抽真空、加热、刻蚀、沉积等反馈真实状态Idle、Run、Alarm、Pause上传实时数据传感器、阀门、电机状态响应 EAP 指令启动、停止、复位、下载 Recipe机台只懂自己的语言SECS/GEM 或私有协议听不懂 MES。六、一条 Lot 的标准自动化流程必背FOUP 由 OHT 运到机台 Load PortMES 下发加工任务给 EAPEAP 检查机台状态 OK、Recipe OK、Port OKEAP 下发 Recipe 到机台EAP 发送启动命令机台开门 → 机械手取片 → 送入 Chamber机台执行工艺Processing工艺完成 → 机械手出片 → 放回 FOUP机台通知 EAP 加工完成EAP 上传结果给 MESMES 标记该 Lot 工序完成通知 OHT 运走七、为什么一定要 EAP不能 MES 直连机台机台品牌太多应用材料、泛林、东京电子、ASML 等协议各不相同MES 是通用系统不兼容每台机的私有协议EAP 做统一适配把所有机台 “翻译成” MES 能懂的格式安全与防错EAP 可以拦截错误指令避免批量报废集中监控统一状态、报警、数据格式方便工厂管理八、本课必须记住的 3 句话MES 派活EAP 传话 控制机台干活。EAP 是 MES 和机台之间的翻译和守门员。没有 EAPFAB 就无法实现全自动关灯工厂。九、课后小作业按顺序写出 MES→EAP→机台 的完整跑货流程说明 EAP 存在的 2 个核心理由用自己的话解释MES 不直接控制机台的原因