会但正常工艺条件下概率极低刮伤通常是异常状态的信号。正常情况下为什么不刮伤充分吸水后的 PVA 海绵其触感比豆腐还要柔软莫氏硬度极低。纯粹的湿润 PVA 材质其硬度根本不足以在硅、氧化硅或金属铜Cu的表面留下任何物理划痕。在高速自转和大量纯水/清洗液的喷淋下PVA 刷子的微小凸起实际上并没有死死地硬压在晶圆表面上。它们之间隔着一层极薄的流体润滑膜。刷子是通过带动这层流体产生巨大的“剪切力”将微粒“卷”走的。什么情况下会刮伤1. 刷子里嵌入了硬颗粒——最常见原因上一片晶圆的Slurry大颗粒、研磨副产物嵌入PVA海绵孔隙这些硬颗粒SiO₂、CeO₂磨粒硬度远超膜层随刷子旋转划过晶圆形成线性划痕Scratch2. 刷子压力过大压力设定超过工艺窗口PVA突起被过度压缩机械力超过膜层承受极限特别是脆弱的Low-k介质极易被压伤3. 刷子老化变硬PVA长期使用后孔隙被污染物堵塞失去储水能力局部变硬干硬的PVA区域接触晶圆产生刮伤4. 清洗液供给不足DIW或清洗液流量不够失去润滑和颗粒带走作用干摩擦导致划伤5. 刷子与晶圆相对速度异常转速失控或卡盘打滑异常的相对运动产生划痕Tom的晶圆电镀液业务1晶圆镍铁电镀液无氰金电镀液2桌面式晶圆电镀机